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薄膜在线检测系统

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简介


我司不仅仅为客户提供实验使用、科研需求的薄膜检测、分析仪器,同时也为广大工业用户提供在线检测的系统方案。不仅可在线检测导电薄膜的面电阻、膜厚、薄膜均匀性,并且可集成光学反射率、透过率等的功能。

 

 

规格参数


测量模式:非接触式实时测量

衬底:foils, glass, wafer等

检测间距:1 / 5 / 10 / 15 / 25 / 50 mm (可定制其他)

传感器数目:1 – 99

面阻范围: 0.0001~1000 Ohm/sq

薄膜厚度:2nm – 2mm(依据面阻而定)

工作环境:真空 /  非真空  

工作温度:< 60°C/ 140°F (< 90°C/ 194°F 需定制)

采样率:1 / 10 /50 /100 /1,000 data/s

配套设备(选配):硬件触发 / 条形码阅读器

选配功能:导电膜厚度/ 光透射率 / 反射率 / 色度等

 

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光谱反射分析系列:SR100、SR300、SR500等

椭偏仪系列:SE200、SE300BM,SE500等

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