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在线监测面阻测量仪

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简介


Suragus面阻测试仪来自德国,其通过涡流的原理测量材料面阻值,该技术是一种非接触式面阻测试技术且测试准确稳定,对于无损检测、在线面阻监测具有重要意义。

 

 

 

规格参数


测量模式:非接触式实时测量

衬底:foils, glass, wafer等

检测间距:1 / 5 / 10 / 15 / 25 / 50 mm (可定制其他)

传感器数目:1 – 99

面阻范围: 0.0001~1000 Ohm/sq

薄膜厚度:2nm – 2mm(依据面阻而定)

工作环境:真空 /  非真空  

工作温度:< 60°C/ 140°F (< 90°C/ 194°F 需定制)

采样率:1 / 10 /50 /100 /1,000 data/s

配套设备(选配):硬件触发 / 条形码阅读器

选配功能:导电膜厚度/ 光透射率 /密度 /各向异性

 

 

功能图解


 

 

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Suragus面阻测试仪来自德国,其通过涡流的原理测量材料面阻值,该技术是一种非接触式面阻测试技术且测试准确稳定,对于无损检测、在线面阻监测具有重要意义。

测量模式:非接触式实时测量

衬底:foils, glass, wafer等

检测间距:1 / 5 / 10 / 15 / 25 / 50 mm (可定制其他)

传感器数目:1 – 99

面阻范围: 0.0001~1000 Ohm/sq

薄膜厚度:2nm – 2mm(依据面阻而定)

工作环境:真空 /  非真空  

工作温度:< 60°C/ 140°F (< 90°C/ 194°F 需定制)

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暂未实现,敬请期待
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