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MSP500 薄膜分析仪

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产品描述
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简介
规格参数
功能图解
应用系统
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简介


  MSP系列薄膜分析产品来自美国AST公司,其可以实现微小区域薄膜厚度、反射率、透射率、色度等的测量,同样对于材料NK参数也可以实现测量,为人们针对薄膜微小区域进行分析提供了极大便利。

 

产品详情


 

基本功能

1,针对微小区域测试单、多层透光薄膜的厚度、折射率以及吸收系数
2,实现薄膜均匀性检测以及色度、反射率、透射率等参数测量
3,宽光谱范围同时有效满足材料分析、探测等应用

产品特点

l  强大的数据运算处理功能及材料NK数据库;
2  简便、易行的可视化测试界面,可根据用户需求设置不同的参数;
3  实现微小区域薄膜分析研究;
4  快捷、准确、稳定的参数测试;
5  支持多功能配件集成以及定制;
6  支持不同水平的用户控制模式;
7  支持多功能模拟计算等等。

系统配置

型号:MSP500RTMF
双探测器系统:2048像素的CCD阵列用于UV-Vis,InGaAs阵列用于NIR
光源:高功率的DUV和可见光光源
自动的台架平台:特殊处理的铝合金操作平台,手动调节移动范围为100mm×75mm
焦距:螺杆控制的自动调焦
物镜有着长焦点距离:4×、10×、15× 、50×(包括一个DUV物镜)通讯接口:USB的通讯接口与计算机相连
软件:带有全自动成像功能和2D/3D图形输出的TFProbe 2.2VM版本的软件。
测量类型:反射/透射光谱、薄膜厚度/反射光谱和特性尺寸
计算机硬件:英特儿酷睿2双核处理器,19”LCD显示器
电源:110–240V AC/50-60Hz,3A
尺寸:16’x16’x18’ (操作桌面设置)
重量:120磅总重      保修:一年的整机及零备件保修

 

规格参数


  波长范围:250nm到1700 nm

  波长分辨率: 1nm

  光斑尺寸:100μm (4x), 40μm (10x), 30μm (15x), 8μm (50x)

  基片尺寸:最多可至20mm

  测量厚度范围: 20Å 到25 μm

  测量时间:最快2毫秒

  精确度*:优于0。5%(通过使用相同的光学常数,让椭偏仪的结果与热氧化物样品相比较)

  重复性误差*:小于2 Ǻ

  可选配件项

  l 波长可扩展到远DUV或者长NIR范围(~2500nm)

  2 可根据客户的特殊需求来定制

  3 在动态实验研究时,可根据需要对平台进行加热或致冷

  4 可选择的平台尺寸最多可测量300mm大小尺寸的样品

  5 更高的波长范围的分辨率可低至0.1nm

  6 各种滤光片可供各种特殊的需求

  7 可添加应用于荧光测量的附件

  8 可添加用于拉曼应用的附件

  9 可添加用于偏光应用的附件

 

应用系统


  主要应用于透光薄膜分析类领域:

  l 玻璃镀膜领域(LowE、太阳能…)

  2 半导体制造(PR,Oxide, Nitride…)

  3 液晶显示(ITO,PR,Cell gap。。。)

  4 光学涂层,TiO2, SiO2, Ta2O5... ..

  5 半导体化合物

  6 在MEMS/MOEMS系统上的功能性薄膜

  7 非晶体,纳米材料和结晶硅

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图片:

  

 

简介:

  MSP系列薄膜分析产品来自美国AST公司,其可以实现微小区域薄膜厚度、反射率、透射率、色度等的测量,同样对于材料NK参数也可以实现测量,为人们针对薄膜微小区域进行分析提供了极大便利。

 

产品详情:

 

基本功能

1,针对微小区域测试单、多层透光薄膜的厚度、折射率以及吸收系数
2,实现薄膜均匀性检测以及色度、反射率、透射率等参数测量
3,宽光谱范围同时有效满足材料分析、探测等应用

产品特点

l  强大的数据运算处理功能及材料NK数据库;
2  简便、易行的可视化测试界面,可根据用户需求设置不同的参数;
3  实现微小区域薄膜分析研究;
4  快捷、准确、稳定的参数测试;
5  支持多功能配件集成以及定制;
6  支持不同水平的用户控制模式;
7  支持多功能模拟计算等等。

系统配置

型号:MSP500RTMF
双探测器系统:2048像素的CCD阵列用于UV-Vis,InGaAs阵列用于NIR
光源:高功率的DUV和可见光光源
自动的台架平台:特殊处理的铝合金操作平台,手动调节移动范围为100mm×75mm
焦距:螺杆控制的自动调焦
物镜有着长焦点距离:4×、10×、15× 、50×(包括一个DUV物镜)通讯接口:USB的通讯接口与计算机相连
软件:带有全自动成像功能和2D/3D图形输出的TFProbe 2.2VM版本的软件。
测量类型:反射/透射光谱、薄膜厚度/反射光谱和特性尺寸
计算机硬件:英特儿酷睿2双核处理器,19”LCD显示器
电源:110–240V AC/50-60Hz,3A
尺寸:16’x16’x18’ (操作桌面设置)
重量:120磅总重      保修:一年的整机及零备件保修

规格参数:

北京赛车pk10投注   波长范围:250nm到1700 nm

北京赛车pk10投注   波长分辨率: 1nm

北京赛车pk10投注   光斑尺寸:100μm (4x), 40μm (10x), 30μm (15x), 8μm (50x)

  基片尺寸:最多可至20mm

  测量厚度范围: 20Å 到25 μm

  测量时间:最快2毫秒

北京赛车pk10投注   精确度*:优于0.5%(通过使用相同的光学常数,让椭偏仪的结果与热氧化物样品相比较)

  重复性误差*:小于2 Ǻ

  可选配件项

  l 波长可扩展到远DUV或者长NIR范围(~2500nm)

  2 可根据客户的特殊需求来定制

  3 在动态实验研究时,可根据需要对平台进行加热或致冷

  4 可选择的平台尺寸最多可测量300mm大小尺寸的样品

  5 更高的波长范围的分辨率可低至0。1nm

  6 各种滤光片可供各种特殊的需求

  7 可添加应用于荧光测量的附件

  8 可添加用于拉曼应用的附件

北京赛车pk10投注   9 可添加用于偏光应用的附件

 

应用系统

北京赛车pk10投注   主要应用于透光薄膜分析类领域:

  l 玻璃镀膜领域(LowE、太阳能…)

  北京赛车pk10投注2 半导体制造(PR,Oxide, Nitride…)

  3 液晶显示(ITO,PR,Cell gap...)

  4 光学涂层,TiO2, SiO2, Ta2O5... ..

  5 半导体化合物

  6 在MEMS/MOEMS系统上的功能性薄膜

  7 非晶体,纳米材料和结晶硅

 

暂未实现,敬请期待
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