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MSP100 薄膜分析仪

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产品描述
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简介
规格参数
功能图解
应用系统
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简介


  MSP系列薄膜分析产品来自美国AST公司,其可以实现微小区域薄膜厚度、反射率、透射率、色度等的测量,同样对于材料NK参数也可以实现测量,为人们针对薄膜微小区域进行分析提供了极大便利。

基本功能

1,针对微小区域测试单、多层透光薄膜的厚度、折射率以及吸收系数的测量
2,实现薄膜色度、反射率、透射率的检测

产品特点

l  强大的数据运算处理功能及材料NK数据库;
1  简便、易行的可视化测试界面,可根据用户需求设置不同的参数;
2  实现微小区域薄膜分析研究;
3  快捷、准确、稳定的参数测试;
4  支持多功能配件集成以及定制;
5  支持不同水平的用户控制模式;
6  支持多功能模拟计算等等。

系统配置

型号:MSP100RTM
探测器:2048像素的CCD阵列
光源:高功率的深紫外-可见光光源
光传送方式:光纤      
自动的台架平台:特殊处理的铝合金操作平台,能够在5”×3”的距离上移动,并且有着1μm的分辨率,程序有效控制
物镜:4×,10×,15×(DUV),50×
通讯接口:USB的通讯接口与计算机相连
测量类型:反射/透射光谱、薄膜厚度/反射光谱和特性参数
计算机硬件:英特儿酷睿2双核处理器,19”LCD显示器
电源:110–240V AC/50-60Hz,3A
尺寸:16’x16’x18’ (操作桌面设置)
重量:120磅总重
保修:一年的整机及零备件保修


l  波长可扩展到远深紫外光或者近红外光范围
2  可根据客户的特殊需求来定制
3  在动态实验研究时,可根据需要对平台进行加热或致冷
4  可选择的平台尺寸最多可测量300mm大小尺寸的样品
5  更高的波长范围的分辨率可低至0.1nm
6  各种滤光片可供各种特殊的需求
7  可添加应用于荧光测量的附件
8  可添加用于拉曼应用的附件
9  可添加用于偏光应用的附件

 

规格参数


  波长范围:250nm到1000 nm

  波长分辨率: 1nm

  光斑尺寸:100μm (4x), 40μm (10x), 30μm (15x), 8μm (50x)

  基片尺寸:最多可至20mm厚

  测量厚度范围: 20Å 到25 μm

  测量时间:最快2毫秒

  精确度*:优于0.5%(通过使用相同的光学常数,让椭偏仪的结果与热氧化物样品相比较)

  重复性误差*:小于2 Ǻ

 

应用系统


  主要应用于透光薄膜分析类领域:

  1 玻璃镀膜领域(LowE、太阳能…)

  2 半导体制造(PR,Oxide, Nitride…)

  3 液晶显示(ITO,PR,Cell gap...)

  4 医学,生物薄膜及材料领域等

  5 油墨,矿物学,颜料,调色剂等

  6 医药,中间设备

  7 光学涂层,TiO2, SiO2, Ta2O5... ..

  8 半导体化合物

  9 在MEMS/MOEMS系统上的功能性薄膜

  l0 非晶体,纳米材料和结晶硅

 

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  简介:

  MSP系列薄膜分析产品来自美国AST公司,其可以实现微小区域薄膜厚度、反射率、透射率、色度等的测量,同样对于材料NK参数也可以实现测量,为人们针对薄膜微小区域进行分析提供了极大便利。

基本功能

1,针对微小区域测试单、多层透光薄膜的厚度、折射率以及吸收系数的测量
2,实现薄膜色度、反射率、透射率的检测

产品特点

l  强大的数据运算处理功能及材料NK数据库;
1  简便、易行的可视化测试界面,可根据用户需求设置不同的参数;
2  实现微小区域薄膜分析研究;
3  快捷、准确、稳定的参数测试;
4  支持多功能配件集成以及定制;
5  支持不同水平的用户控制模式;
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系统配置

型号:MSP100RTM
探测器:2048像素的CCD阵列
光源:高功率的深紫外-可见光光源
光传送方式:光纤      
自动的台架平台:特殊处理的铝合金操作平台,能够在5”×3”的距离上移动,并且有着1μm的分辨率,程序有效控制
物镜:4×,10×,15×(DUV),50×
通讯接口:USB的通讯接口与计算机相连
测量类型:反射/透射光谱、薄膜厚度/反射光谱和特性参数
计算机硬件:英特儿酷睿2双核处理器,19”LCD显示器
电源:110–240V AC/50-60Hz,3A
尺寸:16’x16’x18’ (操作桌面设置)
重量:120磅总重
北京赛车pk10投注 保修:一年的整机及零备件保修


l  波长可扩展到远深紫外光或者近红外光范围
2  可根据客户的特殊需求来定制
3  在动态实验研究时,可根据需要对平台进行加热或致冷
4  可选择的平台尺寸最多可测量300mm大小尺寸的样品
5  更高的波长范围的分辨率可低至0.1nm
6  各种滤光片可供各种特殊的需求
7  可添加应用于荧光测量的附件
8  可添加用于拉曼应用的附件
9  可添加用于偏光应用的附件

  规格参数:

  波长范围:250nm到1000 nm

  波长分辨率: 1nm

  光斑尺寸:100μm (4x), 40μm (10x), 30μm (15x), 8μm (50x)

  基片尺寸:最多可至20mm厚

  测量厚度范围: 20Å 到25 μm

  测量时间:最快2毫秒

  精确度*:优于0.5%(通过使用相同的光学常数,让椭偏仪的结果与热氧化物样品相比较)

  重复性误差*:小于2 Ǻ

 

  应用系统:

  主要应用于透光薄膜分析类领域:

  1 玻璃镀膜领域(LowE、太阳能…)

  2 半导体制造(PR,Oxide, Nitride…)

  3 液晶显示(ITO,PR,Cell gap...)

  4 医学,生物薄膜及材料领域等

  5 油墨,矿物学,颜料,调色剂等

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  l0 非晶体,纳米材料和结晶硅

 

 

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